Balita sa industriya

Sa paglaki ng SiC at AlN single crystals gamit ang physical vapor transport (PVT) na paraan, ang mga mahahalagang bahagi tulad ng crucible, seed holder, at guide ring ay may mahalagang papel. Gaya ng inilalarawan sa Figure 2 [1], sa panahon ng proseso ng PVT, ang seed crystal ay nakaposisyon sa mas mababang rehiyon ng temperatura, habang ang SiC raw na materyal ay nakalantad sa mas mataas na temperatura (sa itaas 2400 ℃).

Ang mga substrate ng carbide ng silikon ay maraming mga depekto at hindi maaaring direktang maproseso. Ang isang tiyak na solong kristal na manipis na pelikula ay kailangang lumaki sa kanila sa pamamagitan ng isang epitaxial na proseso upang makagawa ng mga wafer ng chip. Ang manipis na pelikula na ito ay ang epitaxial layer. Halos lahat ng mga aparato ng silikon na karbida ay natanto sa mga epitaxial na materyales. Ang mataas na kalidad na silikon na karbida na homogenous epitaxial na materyales ay ang batayan para sa pagbuo ng mga aparato ng silikon na karbida. Ang pagganap ng mga epitaxial na materyales ay direktang tinutukoy ang pagsasakatuparan ng pagganap ng mga aparato ng silikon na karbida.

Ang Silicon Carbide ay reshaping ang industriya ng semiconductor para sa mga aplikasyon ng kapangyarihan at mataas na temperatura, kasama ang mga komprehensibong katangian nito, mula sa mga epitaxial substrate hanggang sa mga proteksiyon na coatings sa mga de-koryenteng sasakyan at nababago na mga sistema ng enerhiya.

Mataas na kadalisayan: Ang silikon na epitaxial layer na lumago ng kemikal na pag -aalis ng singaw (CVD) ay may napakataas na kadalisayan, mas mahusay na flat ng ibabaw at mas mababang kakulangan ng depekto kaysa sa mga tradisyonal na wafer.

Ang Solid Silicon Carbide (SIC) ay naging isa sa mga pangunahing materyales sa pagmamanupaktura ng semiconductor dahil sa natatanging mga pisikal na katangian nito. Ang sumusunod ay isang pagsusuri ng mga pakinabang at praktikal na halaga batay sa mga pisikal na katangian nito at ang mga tiyak na aplikasyon nito sa kagamitan sa semiconductor (tulad ng mga wafer carriers, shower head, etching focus singsing, atbp.).