Silicon sa insulator wafer

Ang prinsipyo ng pagtatrabaho ngIto semiconductor'SSilicon sa insulator waferPangunahin ang umaasa sa natatanging istraktura at materyal na katangian. At Soi waferay binubuo ng tatlong mga layer: Ang tuktok na layer ay isang solong-kristal na layer ng aparato ng silikon, ang gitna ay isang insulating inilibing na oxide (box) layer, at ang ilalim na layer ay isang sumusuporta sa silikon na substrate.

Ang istraktura ng silikon sa mga wafer ng insulator (SOI)

Pagbubuo ng layer ng pagkakabukod: Ang silikon sa wafer ng insulator ay karaniwang gawa gamit ang teknolohiyang Smart Cut ™ o Simox (paghihiwalay ng teknolohiyang itinanim na oxygen). Ang teknolohiya ng Smart Cut ™ ay nag-iniksyon ng mga ion ng hydrogen sa silikon na wafer upang makabuo ng isang layer ng bubble, at pagkatapos ay bono ang wafer na na-injected na wafer sa pagsuporta sa silikonwafer. 

Matapos ang paggamot ng init, ang wafer na na-injected na wafer ay nahati mula sa layer ng bubble upang makabuo ng isang istraktura ng SOI.Simox TechnologyNagpapahiwatig ng mga high-energy oxygen ion sa mga silikon na wafer upang makabuo ng isang layer ng silikon oxide sa mataas na temperatura.

Bawasan ang kapasidad ng parasitiko: Ang box layer ngSilicon Carbide WaferEpektibong ihiwalay ang layer ng aparato at ang base silikon, makabuluhang muling pagbabawasG Parasitic capacitance. Ang paghihiwalay na ito ay binabawasan ang pagkonsumo ng kuryente at pinatataas ang bilis at pagganap ng aparato.

Iwasan ang mga latch-up effects: Ang N-well at p-well na aparato saSoi waferay ganap na nakahiwalay, pag-iwas sa epekto ng latch-up sa tradisyonal na mga istruktura ng CMOS. Pinapayagan nitowafer soi upang makagawa sa mas mataas na bilis.

Pag -andar ng Etch Stop: AngSingle Crystal Silicon Device Layerat istraktura ng layer ng kahon ng soi wafer ay nagpapadali sa paggawa ng mga MEM at optoelectronic na aparato, na nagbibigay ng mahusay na pag -andar ng Etch Stop.

Sa pamamagitan ng mga katangiang ito,Silicon sa insulator wafergumaganap ng isang mahalagang papel sa pagproseso ng semiconductor at itaguyod ang patuloy na pag -unlad ng integrated circuit (IC) atMicroelectromechanical Systems (MEMS)mga industriya. Taos -puso kaming inaasahan ang karagdagang komunikasyon at pakikipagtulungan sa iyo.

Ang 200mm sol wafers na pagtutukoy ng parameter:

Silicon sa insulator wafers production shops: