Balita sa industriya

Mainam na bumuo ng mga integrated circuit o semiconductor na aparato sa isang perpektong mala-kristal na base layer. Ang proseso ng epitaxy (epi) sa pagmamanupaktura ng semiconductor ay naglalayong magdeposito ng isang pinong single-crystalline layer, karaniwang mga 0.5 hanggang 20 microns, sa isang single-crystalline na substrate. Ang proseso ng epitaxy ay isang mahalagang hakbang sa paggawa ng mga aparatong semiconductor, lalo na sa paggawa ng silicon wafer.

Ang pangunahing pagkakaiba sa pagitan ng epitaxy at atomic layer deposition (ALD) ay namamalagi sa kanilang mga mekanismo ng paglago ng pelikula at mga kondisyon ng operating. Ang epitaxy ay tumutukoy sa proseso ng paglaki ng isang mala -kristal na manipis na pelikula sa isang mala -kristal na substrate na may isang tiyak na relasyon sa orientation, pinapanatili ang pareho o katulad na istruktura ng kristal. Sa kaibahan, ang ALD ay isang pamamaraan ng pag -aalis na nagsasangkot ng paglalantad ng isang substrate sa iba't ibang mga precursor ng kemikal sa pagkakasunud -sunod upang makabuo ng isang manipis na pelikula ng isang atomic layer nang sabay -sabay.

Ang CVD TAC coating ay isang proseso para sa pagbuo ng isang siksik at matibay na patong sa isang substrate (grapayt). Ang pamamaraang ito ay nagsasangkot ng pagdeposito ng TAC papunta sa ibabaw ng substrate sa mataas na temperatura, na nagreresulta sa isang tantalum carbide (TAC) coating na may mahusay na thermal stability at paglaban sa kemikal.

Habang tumatanda ang 8-pulgadang silicon carbide (SiC), pinapabilis ng mga tagagawa ang paglipat mula 6-pulgada hanggang 8-pulgada. Kamakailan, ang ON Semiconductor at Resonac ay nag-anunsyo ng mga update sa 8-inch SiC production.

Ipinakikilala ng artikulong ito ang pinakabagong mga pag-unlad sa bagong idinisenyong PE1O8 na mainit na pader na CVD reactor ng kumpanyang Italyano na LPE at ang kakayahan nitong magsagawa ng pare-parehong 4H-SiC epitaxy sa 200mm SiC.

Sa lumalaking pangangailangan para sa mga materyales ng SiC sa power electronics, optoelectronics at iba pang larangan, ang pagbuo ng SiC single crystal growth technology ay magiging isang pangunahing lugar ng makabagong siyentipiko at teknolohikal. Bilang core ng SiC single crystal growth equipment, ang disenyo ng thermal field ay patuloy na makakatanggap ng malawak na atensyon at malalim na pananaliksik.