Balita

8-inch sic epitaxial furnace at homoepitaxial process research

Sinusuri ng artikulo ang mga materyal na katangian ng semiconductor substrate wafers tulad ng silicon, GaAs, SiC at GaN

Ang artikulong ito ay pangunahing naglalarawan ng teknolohiyang epitaxial na batay sa GaN, kabilang ang kristal na istraktura ng mga materyales na batay sa GaN, 3. Mga kinakailangan sa teknolohiya ng epitaxial at mga solusyon sa pagpapatupad, ang mga pakinabang ng mababang-temperatura na epitaxial na teknolohiya batay sa teknolohiyang PVD, at ang pag-unlad ng mga prospect ng mababang-temperatura na epitaxial na teknolohiya.