Balita sa industriya

Ang porous sic ceramic plate ay isa sa mga pangunahing materyales sa larangan ng paggawa ng semiconductor. Sa natatanging istraktura at mahusay na mga pisikal na katangian, ang porous sic ceramic disc ay naging isang hindi mapapalitan na pangunahing sangkap sa mataas na temperatura at kinakaing unti -unting mga kapaligiran. Sa artikulong ito, masusuri natin ang mga pisikal na katangian nito, mga sitwasyon ng aplikasyon at mga pakinabang sa pagpili.

Ang Quartz Boat ay isang pangunahing sangkap na nagdadala ng load na ginagamit sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Pangunahing ginagamit ito para sa pagproseso ng mataas na temperatura ng mga wafer, tulad ng pagsasabog, oksihenasyon at pagsusubo. Ang mahusay na thermal katatagan, mababang mga katangian ng polusyon at paglaban ng kaagnasan ay ginagawang isang kailangang -kailangan na materyal sa industriya ng semiconductor. Ang artikulong ito ay magpapaliwanag sa materyal, pisikal na mga katangian, pag -uuri, mga senaryo ng aplikasyon ng quartz boat at ang mga pagkakaiba nito mula sa PECVD grapayt boat.

Ang pangunahing materyal ng PECVD Graphite Boat ay mataas na kadalisayan isotropic grapayt na materyal (ang kadalisayan ay karaniwang ≥99.999%), na may mahusay na elektrikal na kondaktibiti, thermal conductivity at density. Kung ikukumpara sa mga ordinaryong bangka ng grapayt, ang mga PECVD grapayt na bangka ay may maraming mga kalamangan sa pisikal at kemikal na pag -aari at pangunahing ginagamit sa semiconductor at photovoltaic na industriya, lalo na sa mga proseso ng PECVD at CVD.