Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

CMP polishing slurry
  • CMP polishing slurryCMP polishing slurry

CMP polishing slurry

Ang CMP polishing slurry (Chemical Mechanical Polishing Slurry) ay isang materyal na mataas na pagganap na ginamit sa semiconductor manufacturing at precision material processing. Ang pangunahing pag -andar nito ay upang makamit ang pinong patag at buli ng materyal na ibabaw sa ilalim ng synergistic na epekto ng kaagnasan ng kemikal at paggiling ng mekanikal upang matugunan ang mga kinakailangan ng kalidad at kalidad ng ibabaw sa antas ng nano. Inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.
Magpadala ng Inquiry
Paglalarawan ng Produkto

Ang Veteksemicon's CMP polishing slurry ay pangunahing ginagamit bilang isang buli na nakasasakit sa CMP kemikal na mekanikal na polishing slurry para sa pagpaplano ng mga materyales na semiconductor. Mayroon itong mga sumusunod na pakinabang:

● Ang antas ng diameter at butil ng asosasyon ng mga particle ay maaaring malayang kontrolado;
● Ang mga particle ay monodispersed at ang pamamahagi ng laki ng butil ay pantay;
● Ang sistema ng pagpapakalat ay matatag;
● Malaki ang scale ng produksyon ng masa at ang pagkakaiba sa pagitan ng mga batch ay maliit;
● Hindi madaling mapagbuti at husayin.


Ang mga tagapagpahiwatig ng pagganap para sa mga produktong serye ng ultra-mataas na kadalisayan

Parameter
 Unit
 Ang mga tagapagpahiwatig ng pagganap para sa mga produktong serye ng ultra-mataas na kadalisayan
Obispo
 Obispo2
 Obispo3
 Obispo4
 Obispo-5
 Obispo6
 Obispo7
Average na laki ng butil ng silica
 nm
 35 ± 5
 45 ± 5
 65 ± 5
 75 ± 5
 85 ± 5
 100 ± 5
 120 ± 5
Nanoparticle Sukat ng Pamamahagi (PDI)
 1 <0.15
 <0.15
 <0.15
 <0.15
 <0.15
 <0.15
 <0.15
Solusyon pH
 1 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
Solidong nilalaman
 % 20.5 ± 0.5
 20.5 ± 0.5
 20.5 ± 0.5
 20.5 ± 0.5
 20.5 ± 0.5
 20.5 ± 0.5
 20.5 ± 0.5
Hitsura
 -
 Magaan na asul
 Asul
 Puti
 Off-Puti
 Off-Puti
 Off-Puti
 Off-Puti
Particle morphology x
 X ： S- pherical ； B- curved ； p- peanut-shaped ； t-bulbous ； c-chain-like (pinagsama-samang estado)
Nagpapatatag ng mga ions
 Organic / Inorganic Amines
Raw na materyal na komposisyon y
 At ： m-tmos ； e-You ； me-Tamos+teos ； Em-ezos+TMOs
Nilalaman ng karumihan ng metal
 ≤ 300ppb


CMP Polishing Slurry Product Application ：


● Integrated circuit ILD Materials CMP

● Integrated circuit poly-Si Materyal CMP

● Semiconductor Single Crystal Silicon Wafer Materials CMP

● Semiconductor Silicon Carbide Materials CMP

● Integrated Circuit STI Materials CMP

● Integrated circuit metal at metal barrier layer materials CMP


Mga Hot Tags: CMP polishing slurry
Kaugnay na Kategorya
Magpadala ng Inquiry
Impormasyon sa Pakikipag-ugnayan
Para sa mga katanungan tungkol sa Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite o listahan ng presyo, mangyaring iwan ang iyong email sa amin at makikipag-ugnayan kami sa loob ng 24 na oras.
Kaugnay na Mga Produkto
Max Phase Nanopowder
Max Phase Nanopowder Tingnan ang Higit Pa >>
Semiconductor thermal spraying teknolohiya
Semiconductor thermal spraying teknolohiya Tingnan ang Higit Pa >>
Wafer na humahawak ng robotic braso
Wafer na humahawak ng robotic braso Tingnan ang Higit Pa >>
Thermal spraying teknolohiya MLCC kapasitor
Thermal spraying teknolohiya MLCC kapasitor Tingnan ang Higit Pa >>
Pag -aalis ng singaw ng pisikal
Pag -aalis ng singaw ng pisikal Tingnan ang Higit Pa >>
Mga Rekomendasyon sa Balita
Ang nangungunang 3 quartz material supplier sa buong mundo
Ang nangungunang 3 quartz material supplier sa buong mundoTingnan ang Higit Pa >>
Iba't ibang mga teknikal na ruta ng SIC epitaxial growth pugon
Iba't ibang mga teknikal na ruta ng SIC epitaxial growth pugonTingnan ang Higit Pa >>
Semiconductor substrate wafer: Materyal na katangian ng silicon, GaAs, SiC at GaN
Semiconductor substrate wafer: Materyal na katangian ng silicon, GaAs, SiC at GaNTingnan ang Higit Pa >>
Application ng TAC-Coated Graphite Parts sa Single Crystal Furnaces
Application ng TAC-Coated Graphite Parts sa Single Crystal FurnacesTingnan ang Higit Pa >>
ALD Atomic Layer Deposition Recipe
ALD Atomic Layer Deposition RecipeTingnan ang Higit Pa >>
Ano ang mga ceramics ng silikon carbide?
Ano ang mga ceramics ng silikon carbide?Tingnan ang Higit Pa >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept