Balita

Ang chemical vapor deposition (CVD) sa paggawa ng semiconductor ay ginagamit upang magdeposito ng manipis na mga materyales sa pelikula sa silid, kabilang ang SiO2, SiN, atbp., at ang mga karaniwang ginagamit na uri ay kinabibilangan ng PECVD at LPCVD. Sa pamamagitan ng pagsasaayos ng temperatura, presyon at uri ng reaksyon ng gas, nakakamit ng CVD ang mataas na kadalisayan, pagkakapareho at magandang saklaw ng pelikula upang matugunan ang iba't ibang mga kinakailangan sa proseso.

Ang artikulong ito ay pangunahing naglalarawan ng malawak na mga prospect ng aplikasyon ng mga ceramics ng silikon na karot. Nakatuon din ito sa pagsusuri ng mga sanhi ng mga sintering bitak sa mga silikon na karot ng carbide at ang mga kaukulang solusyon.

Ang teknolohiya ng etching sa pagmamanupaktura ng semiconductor ay madalas na nakatagpo ng mga problema tulad ng pag-load ng epekto, epekto ng micro-groove at epekto ng singilin, na nakakaapekto sa kalidad ng produkto. Kasama sa mga solusyon sa pagpapabuti ang pag -optimize ng density ng plasma, pag -aayos ng komposisyon ng reaksyon ng gas, pagpapabuti ng kahusayan ng sistema ng vacuum, pagdidisenyo ng makatuwirang layout ng lithography, at pagpili ng naaangkop na mga materyales sa mask at mga kondisyon ng proseso.

Ang mainit na pagpindot sa sintering ay ang pangunahing pamamaraan para sa paghahanda ng mataas na pagganap na SIC keramika. Ang proseso ng mainit na pagpindot sa sintering ay kasama ang: pagpili ng mataas na kadalisayan na pulbos na pulbos, pagpindot at paghubog sa ilalim ng mataas na temperatura at mataas na presyon, at pagkatapos ay mapanlinlang. Ang mga keramika ng sic na inihanda ng pamamaraang ito ay may mga pakinabang ng mataas na kadalisayan at mataas na density, at malawakang ginagamit sa paggiling mga disc at kagamitan sa paggamot ng init para sa pagproseso ng wafer.

Ang mga pangunahing paraan ng paglago ng Silicon carbide (SiC) ay kinabibilangan ng PVT, TSSG, at HTCVD, bawat isa ay may natatanging mga pakinabang at hamon. Ang mga materyales sa thermal field na nakabatay sa carbon tulad ng mga insulation system, crucibles, TaC coatings, at porous graphite ay nagpapahusay ng paglaki ng kristal sa pamamagitan ng pagbibigay ng katatagan, thermal conductivity, at kadalisayan, na mahalaga para sa tumpak na katha at aplikasyon ng SiC.